1. Het formulier wordt veel gebruikt bij het ontwerp van kleinschalige en laagwaardige cleanroomworkshops. Voor grote gebieden met hoogwaardige, schone werkplaatsen zijn de exploitatiekosten te hoog.de ruimte is te groot en andere tekortkomingen.
2.Het ontwerp van het formulier kan voldoen aan de eisen van een groot oppervlak en een hoog niveau van stofvrije werkplaats voor de productie van geïntegreerde schakelingen, maar de bedrijfskosten zijn hoog en de windsnelheid en het luchtvolume van de cleanroom zijn moeilijk aan te passen, en de Het systeem is moeilijk te upgraden en te transformeren, dus de operationele flexibiliteit is niet bijzonder hoog.
3.Het hoofdcirculatiesysteem bespaart niet alleen de bedrijfsruimte, netheid, hoge veiligheid, lage bedrijfskosten en hoge operationele flexibiliteit, maar heeft op geen enkel moment invloed op de productiesituatie voor systeemupgrades en -aanpassingen, kan goed voldoen aan de behoeften van de halfgeleiderproductie Daarom wordt het hoofdcirculatiesysteem in de halfgeleiderproductie geleidelijk het belangrijkste zuiveringsontwerpschema